Particle-PLUS マイクロトレンチ上での薄膜生成の解析

マクロとミクロの両スケールから成膜プロセスを解析可能

株式会社ウェーブフロントが自社開発した、粒子法プラズマ解析ソフト ウェア「Particle-PLUS」は基板上に微小溝(マイクロトレンチ)が あるような場合でもマグネトロンスパッタリングの解析ができます。 「Particle-PLUS」は微小溝を含む基盤へのスパッタリング装置全体についてのマクロスケールと微小溝の部分に関するミクロスケールの両方を計算し、成膜プロセスをシミュレーションする...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社