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プラズマ源 TESシリーズ_Polygon Physics社製
幅広い用途を網羅した超小型ECR(電子サイクロトロン共鳴)バイポーラ技…
【スペック】 ※TES-40モデルを一例として一部掲載しております。 ・使用可能ガス:H₂, He, N₂, O₂, 貴ガス, 分子ガス He ・マイクロ波電力:0.5~5 W (2.45GHz) ・最大エネルギー:5 kV ・フランジタイプ:CF40...
メーカー・取り扱い企業: ケイエルブイ株式会社
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