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パターン付きウェーハの裏面加工など!酸化物材料の精密研磨加工をご紹介
研磨加工及び洗浄を 行っております。 対応サイズは、Φ63mm~Φ150mm、3mm×3mm~100mm×100mm。 当社は、パターン形成済みのウェーハ裏面を指定のRa値で、 ラッピング(バックラップ)し薄くする技術を有しております。 【酸化物ウェーハ】 ■対応サイズ:Φ63mm~Φ150mm、3mm×3mm~100mm×100mm ■厚み:20μm~ ■TTV:5...
メーカー・取り扱い企業: 日本エクシード株式会社
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