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    システム【流量制御機器】FCS Pressure Series

    超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。

    ーコントロールシステム 【特徴】 ○シンプルでデットスペースレスな構造 ○優れた圧力変動特性  上流の圧力が変動しても出力値が変動しないため  上流側に取り付ける事が可能。またレギュレータをガスシステムから省く事ができ  ガスシステムのコストダウンと小型化を同時に達成 ○フローファクターの採用  様々なガス種に対応可能 ○優れた精度 ○流量自己診断機能の搭載 ○す...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

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