半導体集積回路『ハードマスクブランクス』

電子線用・レーザー用レジストなどを塗布した半導体集積回路！

『ハードマスクブランクス』は、主に石英やソーダライムと言ったガラス 基板上に、クロムやモリブデンシリサイドを母材とした薄膜を形成し、 感光性材料(電子線用、レーザー用レジストなど)を塗布した製品です。 低反射クロムマスクブランクスとハーフトーン型位相シフトマスク ブランクスがあり、リソグラフィー用原版として、LSIの製造に 用いられるマスクに使用さ...

メーカー・取り扱い企業： アルバック成膜株式会社