小型スパッタ装置『SS-DC・RF301』

小型設計ながら性能はキープ！高温での基板加熱が可能なスパッタ装置

【仕様】 ■到達真空度：1×10^-4 Pa以下 ■リーク量：1×10^-8 Pa・m3/sec以下（Oリング透過分を除く） ■排気系：TMP+ダイヤフラムポンプ（またはロータリーポンプ） ■真空計 　フルレンジ真空計（コールドカソード+ピラニーゲージ） 　+キャパシタンスゲージ（オプション） ■基板ステージ：2インチ対応ステージ ■基板加熱温度：MAX500℃...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社