GasPro 高温用ガスフィルター　TEM-700シリーズ

最高使用温度　400℃対応の高性能メンブレンガスフィルター

GasProTEM-700シリーズは、反応性のガスやハロゲン化マイクロエレクトロニクスガス用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、フィルター材質は0.01ミクロン。大流量で低いデルタPが必要なケース、またスペースが限られているところに最適です。 本体はグラスファイバーとSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されており、類似サイズのメンブレンフィルターよりも10～20倍高い...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部