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【エンコーダ内蔵】分解能・位置決め再現性・位置保持性が高い5nm分解能…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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