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100V電源ユーティリティだけでエキシマ洗浄表面改質の実験検証が可能で…
1mm/sec～120mm/sec 処理可動範囲 240mm タッチパネル 4インチ モノクロタッチパネル レシピ数 20レシピ（処理速度、照射時間設定可能） モニタ機能 現在速度・現在位置・残り時間 表示機能付き 排オゾン設備 オゾン触媒内蔵（ファン強制排気） ユーティリティ AC100V 50/60Hz 400VA...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社あすみ技研
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