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1nm分解能で位置決めステージを制御!
ィードバックステージを1nm分解能で制御することができます。 ステージ内のリニアエンコーダの値をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行います。 コマンドにより通信制御ができ、容易に位置決めシステムを構築することができます。...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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