リニアアクティブ除振ユニット 「VAAV-S」　EMC対策タイプ

パッシブ除振台では除ききれない低周波数の振動を嫌う顕微鏡において効果を…

【仕様】 ○制御自由度　３軸６自由度 ○位置精度　±1000μm ○所要空気源　0.5MPa以上　消費流量はパッシブと同等 ○所要電源　AC 100V～240V　（50/60Hz）　200W ○制御方式　速度フィードバック、フロアフィー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和サイエンス

アクティブ除振ユニット 「VAAV-H」

従来品と同じ性能でスリム化を実現！空圧アクティブ除振ユニット

備し、フィードフォワード制御で世界最高水準の除振性能を達成しました。 【特徴】 ○VAAV-Aシリーズと同性能でありながら、装置の全高を低く抑えることが可能 ○空圧制御により全方向の変位、位置制御が高精度で可能 ○大きな移動荷重に対応できる高速応答の大流量バルブの選択が可能 ○CEマーキング対応の安心安全設計（コントローラSAC-07） ○ステージフィードフォワード機能、振動波形表...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和サイエンス