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SEM用断面観察試料を簡単に作製！最小±2.5μmの位置精度でのけがき…
高性能ウェハ・マスク破断装置『AMCシリーズ』は、タングステンカーバイドの ローラーを用いたSEM観察用断面試料を手軽に作製する為の装置です。 加工プロセスは、モニターを見ながらけがき位置のティーチングし、自動でけがきを開始します。 観察部は自動スキップされ、けがきによる内部応力を利用して試料を破断します。 電...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アプコ
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