導電性薄膜作製装置『オスミウム・プラズマコーター』

電子顕微鏡観察のお悩みを解決！チャージアップ防止、粒状性・熱ダメージ軽…

『オスミウム・プラズマコーター』は、「直流グロー放電による 負グロー相領域内でのプラズマ製膜法」を用いた電子顕微鏡試料用の 導電性薄膜作製装置です。 プラズマCVD法により、非晶質のオスミウム導電性薄膜(オスミウムコート)を 短時間に形成することができます。 非常に強固かつなめらかな表面の導電性薄膜が試料に対し熱ダメージ...

メーカー・取り扱い企業： フィルジェン株式会社