『コリオリ式 TiCl4用液体MFC』

精密に制御かつ高再現が実現できる！TiCl4の流量をコントロールできる…

『TiCl4用液体MFC』は、TiCl4の流量を精密にコントロールすることが できる装置です。 メタルハードニングなどの工程で使用されるTiCl4は、 これまでサーマル式のMFCがよく使用されてきました。 しかし、流体の密度や比熱など物理的変化に対応できず、 正確に流量を測定・制御・高い再現性をキープなどが難しく、 上手く使用するためには、各ユーザーや装置メーカーごとの ノウハウ...

メーカー・取り扱い企業： ブロンコスト・ジャパン株式会社