低差圧マスフローコントローラ　MC-3000S series

SDSなど低差圧にて動作可能なマスフローコントローラです

てもガス流量が制御可能なマスフローコントローラです。 【特長】 ○独自の低圧損構造により、6Torrの差圧で10SCCM(N2)を制御可能 ○AsH3やPH3などのインプラ用途や、液体を加温なしで気体制御も可能 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○高速・高性能なピエゾアクチュエータを搭載 ※その他機能や詳細...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所