東北大学技術：半導体集積回路装置及びその製造方法：T06-167

半導体チップの歩留まりの改善及び設計マージンの緩和

ナノメートル世代の半導体チップにおいては、チップ内の同一形状のトランジスタであっても、製造過程のばらつきにより特性が異なってくる。そのため、良品チップの歩留りが低下したり、良品チップでも性能が劣化するといった問題が生じる。 本発明は、トランジスタの特性ばらつきによる動作不良や性能劣化を製造後に検出し、トランジスタに付加された補正素子により特性の改善を行い、その部分、または回路全体の動作を良品レベ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ

東北大学技術：絶対位置測定装置および方法：T18-501

回折光を利用し高分解能かつ高精度な絶対位置測定を実現

半導体製造装置用の高精度変位センサとして光学式リニアエンコーダが用いられており、これまでに様々なアブソリュート方式の絶対位置検出手法が実用化されている。しかし、複雑な微細パターンの組み合わせや、複雑な検出光学系が必要となるという問題がある。このため、白色光源と位置検出用の不等刻線間隔を有する回折格子を適用し、分析器のスペクトル情報をもとに、絶対位置を検出する光学式1軸エンコーダが提案されている。しかし、...

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【東北大学技術】中性子線検出装置

ガンマ線に対しても堅牢な電源不要の高性能中性子カウンター

従来の中性子線検出器には、検出部のサイズが大きくなってしまうことや、 設計・製造コストがかかり検出器が高額になる等の課題がありました。 本発明では、電源が不要で低価格、高精度な小型の中性子線検出装置を 実現しました。 また、高い放射線耐性を有する半導体を素子として利用したことにより、 高い中性子束環境中、例えば、ホウ素中性子捕捉療法（BNCT）などの 中性子束計測のための利用が...

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東北大学技術：窒化アルミニウム系粒子：T18-355

製造歩留まりが高く、エネルギー消費量も極めて低く抑えることが可能！

窒化アルミニウム（AlN）は高絶縁性と高熱伝導性を有するため、電子部品・半導体装置の封止樹脂中に含有させるフィラーとして用いられ、それら装置の発生した熱を効率良く外部に放出させることによって、寿命を大幅に向上させることができる。しかし、⾧時間高温焼成することによって製造されたAlN粒子は極めていびつな形状となってしまい、封止樹脂中に均一かつ多量に含有させることができないという問題があった。本発明に...

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東北大学技術：窒化アルミニウムワイヤー：T18-356

封止樹脂の放熱フィラーとして活用可能

・ 窒化アルミニウム（AlN）は、高絶縁性と高熱伝導性を有するため、電子部品・半導体装置の封止樹脂中に含有させる放熱用フィラーとして用いられる。しかしながら、従来の方法では1500℃以上の高温で長時間焼成する必要があることから製造が困難という課題を有していた。 ・ 本発明はマイクロ波を用いた合成方法が特徴であるため、AlNを簡易に提供することが出来るようになり前記課題を解決することに成功した。 ・...

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