半導体/液晶製造装置の各種ユニットのメンテナンスサービス

半導体製造装置メーカー150社以上の修理が可能！納期・品質保証に関して…

当社では、Gilbert Technical Services社との提携により、ワールドワイドに、 現在稼働している150社以上の半導体/液晶製造装置の各種ユニットの設計及び メンテナンスサービスを行っています。 納期・品質保証に関しては柔軟性のある対応をさせて頂きます。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください 【修理項目】 ＜電気系修理項目(抜粋)＞ ■コンピュータ...

メーカー・取り扱い企業： アル株式会社 本社

半導体装置メーカー必見！丸型・角型クラッチドア式圧力容器

半導体デバイスのボイド対策に適した圧力容器など、小型から大型まで、半導…

羽生田鉄工所では、真空／加圧／加熱、等の雰囲気処理装置の仕様検討から設計・製作・組み立て・納品までをワンストップで行っております。 これまで半導体製造工程で使用する様々な装置向けの圧力容器を手掛けて参りました。 半導体デバイスのボイド対策に適した圧力容器の製作や新たな製造工法の研究などで試作機を作るお手伝いをさせていただくことが多いです。 ご要望に合わせて全てオーダーメイドで対応いたします。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社羽生田鉄工所

半導体製造装置　医療機器の据付・設置・解体サービス

超繊細で振動・衝撃を嫌う精密機器はクリーン環境に適した無塵対応の機材で…

半導体製造装置はクリーンルームと言われる特殊な環境下で稼働します。60余年の経験に基き教育された専任技能士が据付・設置・解体作業に対応します。空調を完備しステンレス張りの床で埃の発生が無い車輛で大切な装置を輸送します。 【特長】 ◆高度な専門知識を有した専任技能士がきめ細やかなサービスを提供 ◆半導体製造装置専用の輸送車両を完備 ◆クリーン環境に適した無塵対応の機材を取り揃え作業に対応 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サン・エキスプレス

半導体関連製品　「精密加工品/角槽など」

高いレベルの製品で半導体製造で要求される様々な特性に対応します。

半導体関連製品「精密加工品/角槽など」は、半導体製造装置の中での使用に対応するためミクロンレベルの超精密加工を行った部品や半導体製造装置で使用される高純度薬液の貯蔵や混合に適したシングル槽、半導体製造装置内でのオーバーフロー洗浄用に適したダブル槽が...

メーカー・取り扱い企業： 関西理工株式会社

0.01ｍｍ～のＳＵＳ薄板の加工技術で半導体製造装置向シムで製作

半導体製造装置用などにピッタリ！0.01ｍｍ～のＳＵＳでシム製作はお任…

半導体製造機械を製作している企業様への納品実績も多数ございます。その理由は ・バリの少ない高精度な仕上がり ・ＳＵＳは0.01ｍｍ～の板厚違いのご注文も可能 ・可能な素材も銅や真鍮なども高精度に加工ができます。 複雑形状にも対応していますし試作品用など少ないロットの御注文にも対応させていただきます。 薄板加工でお困りの企業様お気軽にお問合わせください。 　　　　　　　　　　　　　　　 ......

メーカー・取り扱い企業： 株式会社富山プレート

マイクロデバイス製造関連装置

全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップ

半導体をはじめとする各種デバイス、センサーなどの露光工程に用いられる、研究開発から中小ロット製造用に最適な片面マスクアライナー、カセットtoカセット搬送システムを搭載し、全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップしました。...半導体をはじめとする各種デバイス、センサーなどの露光工程に用いられる、研究開発から中小ロット製造用に最適な片面マスクアライナー、カセットtoカセット搬送シ...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

各種熱処理装置

半導体や太陽電池の生産・研究開発設備！独自の高温処理技術による高温熱処…

大村技研では、独自の高温処理技術による高温熱処理炉を生産設備および 研究開発向けに提供します。 主要製作装置としては、拡散炉、エピタキシャル装置、CVD装置、 エッチング装置、半導体製造設置用コントローラーなどがあります。 また、小口径基板に適した縦型電気炉や、太陽電池製造用横型拡散炉、 横型CVD装置・LC6400シリーズなどもラインアップされています。 【特長】 ■生...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

【アルミ表面処理　問題解決事例】半導体製造装置へ異物混入防止

350℃まで対応のクラックレス硬質アルマイトで皮膜剥がれによる粉塵の発…

製造工程中に使用するアルミニウム合金製の治具やボルトなどの締結部品は アルマイト処理をする場合がありますが、高温になると皮膜がクラック・欠落 してしまう問題があります。 350℃の環境下でもクラックすることなく使用が可能な、耐熱クラックレス 硬質アルマイト処理「TAF TR」を部品表面に施すことで、皮膜欠落の原因で ある熱クラックの防止を図ることが可能。 課題であった皮膜欠落に...

メーカー・取り扱い企業： 東栄電化工業株式会社 相模原本社工場

東北大学技術：半導体集積回路装置及びその製造方法：T06-167

半導体チップの歩留まりの改善及び設計マージンの緩和

ナノメートル世代の半導体チップにおいては、チップ内の同一形状のトランジスタであっても、製造過程のばらつきにより特性が異なってくる。そのため、良品チップの歩留りが低下したり、良品チップでも性能が劣化するといった問題が生じる。 本発明は、トランジスタの特性ばらつきによる動作不良や性能劣化を製造後に検出し、トランジスタに付加された補正素子により特性の改善を行い、その部分、または回路全体の動作を良品レベ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ

【資料】半導体製造装置向けプラスチック

適切な材料選定に貢献！プラスチック［耐薬品性・入手性・価格イメージ］一…

どに伴い需給がひっ迫しており、 この状況は2022年末までは続くとみられています。 そのような中、不足している樹脂の代替材料の検討が急務ではないでしょうか。 そこで、当資料では、半導体製造装置に使われる樹脂材についての特性を まとめました。 製造工程によって求められる樹脂の特性は違いますので、適切な材料選定に お役立てください。 【掲載内容】 ■半導体業界の材料不...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イコール 本社・営業部

マスクレス露光装置「MXシリーズ」

半導体製造等の露光工程における、開発/納期の短縮とコスト削減に貢献しま…

半導体製造工程・マイクロセンサー（加速度センサー、圧力センサー、温度センサー、ガスセンサー）製造工程・プリント基板製造工程における露光技術では、フォトマスクを使用し、それを基盤に転写する方式が主流です。 一方、マスクレス露光装置「MXシリーズ」は、DMD（デジタル・マイクロミラー・デバイス）を用いた独自のポイントアレイ方式で、CADデータから直接露光することができます。 フォトマスクを使用しな...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大日本科研

アルミナ　セラミック

アルミナは電気絶縁性が高く、耐摩耗性、化学的安定性もある割に比較的安価…

ックスを取り揃えています。 　 アルミナ板のネット販売もしております。（http://www.asuzac-ceramics.jp/shop/shopenter.htm）　　 アルミナは、半導体製造装置や液晶製造装置などのチャンバー内部品や搬送アームに使用されています。　　 アルミナは、電気絶縁性(1015Ωcm)が高いのでチャンバー内での絶縁部品として、搬送アームは金属や樹脂と比べて...

メーカー・取り扱い企業： アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部

素材　「素材シート/素材パイプなど」

半導体製造機器などの素材に最適。各種機械装置の機構部品に幅広く利用

素材「素材シート/素材パイプなど」は、各産業界の機器づくりに広く貢献しています。薄物シートは化学プラント関連のガスケットやライニングへ、厚物シートは各種機械装置の機構部品へと、幅広く利用されています。中でもPCTFEシートは、高硬度材として半導体製造機器などの素材に適しています。詳しくはカタログをダウンロードしてください。...【素材シート】 ○PCTFEシートは、高硬度材として半導体製造機器な...

メーカー・取り扱い企業： 関西理工株式会社

【半導体製造装置関連】集積回路測高検査装置2型

計測後NG品を自動排出！自動ローディングされたJEDECトレー内ICの…

『集積回路測高検査装置2型』は、視野角10mm内、高さ0.7mm以内の高さ計測が可能な製品です。 スロットマガジンに格納されているリードフレーム(最大30×50)を1枚ずつ計測ステージにローディングし、高さ計測を実施。 検査結果によるNG排出を行い、空ポケットに良品ワークを自動充填します。 当社は、FA装置の開発・設計から組立調整、設置、納品後のメンテナンスや改善・改造提案まで一貫したサービス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライズワン

大村技研株式会社　会社案内＆ウエーハファウンドリー

大村技研の技術は半導体業界、液晶、燃料電池、エコ関連等で採用されていま…

大村技研株式会社はガス関連事業と半導体関連事業が密接に結びついている企業です。各種生産工場（半導体・液晶・食料品・機械）、研究所等が当社の得意なフィールドです。大村技研の技術は、半導体業界、液晶、燃料電池、エコ関連、食品工場、各種製造プラント、薬品研究所、 研究機関等、精密性・緻密性・安全性を厳格に求められる多くの業界で採用されています。 当社は半導体のフィールドで培った豊富な経験と、信頼のネッ...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

Agnitron社 研究開発(R&D)～量産用 MOCVD装置

Agnitron社にて独自開発された、高性能、高スループット先端化合物…

Agnitron社のAgilisシリーズは、先端化合物半導体エピ成長を可能にする構成オプションを備えた柔軟なプラットフォームです。研究開発用(R&D用)の小型チャンバではシングル又はデュアルチャンバ構成選択可能、量産機用の大型チャンバではシングルチャンバ構成にて幅広い材料のエピ成長が可能です。...Agnitron Technology社（アメリカ）は、2008年に設立された中古リファブ、自社開発...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

【動画で紹介】半導体ウェハ用ワイヤーソースラリー調合設備

人的ミス防止で生産効率UP!ワイヤソー用スラリーを自動搬送・計量・調合…

本製品は、半導体ウェハをインゴットの状態から、ワイヤソーにより切断する際に、必要となるスラリーの製造を目的とした設備です。 ２台の撹拌設備、１台の貯蔵設備、３台のコンベア、オイル搬送用のポンプで構成され、粉体搬送による発塵を防止するための集塵機も搭載しています。粉体搬送は自動で行い、モータ、ポンプ、ロードセルなどは非防爆仕様で、省力化に配慮をしています。 登録されたレシピに従い搬送、計量、調合...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・エム・エス 本社営業部

真空エジェクタ『耐薬品･耐ガス用CVコンバム(オーダメイド)』

本体およびノズル材質がオールステンレス！半導体製造装置で使用可能

ル材質がオールステンレスの 耐薬品･耐ガス用CVコンバムをオーダーメイドにて提供しています。 材質はSUS303,SUS316を準備しております。 薬品・ガスなどの吸引に適しており、半導体製造装置で使用可能。 耐薬品性に優れるPTFEタイプ、さらにノズルと本体を PTFE溶接したタイプも製作いたします。 【特長】 ■本体およびノズル材質がオールステンレス ■半導体製造...

メーカー・取り扱い企業： コンバム株式会社 旧社名：妙徳

装置の「高精度化」「高速化」が可能な制振技術

外部の振動源に起因する様々な振動問題を解決する方策として、各種の制振製…

【制振事例】 ■顕微鏡の画像が改善した事例：添付資料の比較画像をご覧ください ・半導体製造装置を中心とした精密機器業界の振動対策で数多くの採用実績を保有 ・空調環境での共振や装置内で発生する過渡的な振動に対して、制振効果が期待できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社横河ブリッジ アドバンストエンジニアリング事業部

ウシオの光で出来ること『太陽電池製造用加熱光源』

ウシオの光で出来ること『太陽電池製造用加熱光源』

ウシオ社の新エネルギー技術開発用光源 太陽電池製造用加熱光源の実用例のご紹介です 【特徴】 ○ハロゲンランプヒータによる「非接触による高速昇降温」は 　焼成炉、CVD、スパッタリングなどの装置において標準熱源として採用 ○半導体市場で培った高精度な、熱処理性能、FPD市場において 　長年実績を積んだ長尺ヒータは 　各種太陽電池製造プロセスで即戦力として採用 ●その他機...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

H-Square社製半導体製造用、基板ハンドリングツール・装置

高品質で多種多様な基板搬送ツール

H-Square社製『基板ハンドリングツール・装置』をご紹介しております。 「自動ウエハ移載機」や「ウエハノッチ/フラットアライナ」、「ウエハリフタ」などコンパクトな卓上型自動装置および手動機をはじめ、従来の「真空ピンセット」、「メカニカルピック」など多数ラインアップがございます。 【ラインアップ】 ■ウエハ移載機 ■ウエハアライナ ■ウエハリフタ ■真空ピンセット ■メカニ...

メーカー・取り扱い企業： ナガセテクノエンジニアリング株式会社 横浜センター

山岡製作所 製造部 受託生産課紹介

購買部署との連携により、部品調達～装置調整まで幅広い対応が可能！装置実…

初期教育・スキルUP教育により要求品質を確保し顧客満足を追及します。 【主な業務内容】 ■FA関連装置 組立全般 ■液晶製造ライン（検査・レーザーetc）組立/配管・電装 ■半導体製造装置（洗浄・コーディングetc）組立/配管・電装・調整 ■食品装置（製函・収缶）組立/配管・電装・調整 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山岡製作所

UHV Cleaned Aluminum（アルミホイル）

パーティクルフリーでオイルフリー！ハンドリングしやすい1本10m巻のア…

当製品は、パーティクルフリー、オイルフリーのアルミホイルです。 クリーンルーム内での精密部品、半導体製造装置の梱包、養生並びに 真空装置内の防着板、マスキングシート、熱シールド等に好適。 パーティクル発生数が低く、ハンドリングしやすい1本10m巻きです。 【仕様】 ■厚さ：0.025...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アークステーション

大阪から世界へ！試験機メーカー「米倉製作所」【会社案内】

知りたいことを、知るために。YONEKURAは試験機メーカーで、測定の…

YONEKURAは探究心と想像力を支える試験機専門メーカーです。 1980年の設立から試験機に特化した専門メーカーとして技術を追求しています。最適な製品とサービスを提供するため、細かな要望に応じ、お客様に寄り添った製品を製造してきました。私たち米倉製作所は、品質の向上や安全や技術発展につながる製品づくりを進めお客様と社会の未来に貢献します。 測定の現場では、試験条件の設定や、測定のタイミン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社米倉製作所

精密加工　技術ハンドブックVol.3【※無料プレゼント中！】

エンジニア必見！金属3Dプリンター技術やナノ加工技術などが採用された導…

「精密加工 技術ハンドブックVol.3」は半導体製造装置の重要部品のひとつである アパーチャーへの加工技術や多様な溝形状を可能にするナノ加工技術、小型から 大型製品まで高精度を実現するスリットダイなどを採用いただいたお客様の声を 掲載したエン...

メーカー・取り扱い企業： 東レ・プレシジョン株式会社

【汎用切削用材料】PP厚板、大口径PP丸棒

半導体製造装置や、めっき装置、薬液ポンプなどの用途にご使用いただけます

当製品は、国内でもより大きい口径の汎用切削用材料です。 厚さ150mmの「PP301」と呼称径320mm/445mm径の「PPマルボー301」をご用意。 半導体製造装置や、めっき装置、薬液ポンプなどの用途にご使用いただけます。 【特長】 ■国内でもより大きい口径 ■連続使用温度：MAX100℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお...

メーカー・取り扱い企業： タキロンポリマー株式会社

株式会社アイズ　エンジニアリング事業部　事業紹介

消耗部品の販売から技術者派遣まで！トータルソリューションパートナーを目…

株式会社アイズのエンジニアリング事業部では、チラーユニットの製造・販売、 メンテンナス、部品調達関連分野での人員確保などエンジニアリング集団として 各種サポートを行っています。 半導体・パネル製造に関わる装置、部品の古物の取り扱いでは、各種中古装置、 中古部品を国内外で調査致します。 また、各種コーティング（アルマイト・イットリア）の再生・新規も可能です。 ご希望の製品の概要・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイズ ファクトリーオートメーション事業部

鋳造欠陥抑制・被削性に優れた低熱膨張材『ヒノGDインバー』

1個から大ロットまで安定供給可能！半導体製造装置、工作機械、精密測定機…

『ヒノGDインバー』は、合金成分と熱処理の最適化により、今までに無い安定した低熱膨張性と鋳造性、被削性を両立する低熱膨張材料です。 半導体製造装置、工作機械、精密測定機器、真空ポンプ、をはじめとする様々な産業機械で納入実績がございます。 【特長】 　■線膨張係数α＝1.0～3.5ppm/K（20～50℃平均）の低熱膨張性を 　...

メーカー・取り扱い企業： 日之出水道機器株式会社 産業機械マーケティング

1インチ以下～450ｍｍで提供可能　「CZウェーハ」

1インチ以下～４５０ｍｍまで提供が可能です。各種成膜加工、ＦＺウェーハ…

弊社では、半導体製造装置テスト用のモニターウェーハ・ダミーウェーハ、太陽電池用単結晶シリコンウェーハ・太陽電池用多結晶ウェーハ・ＳＯＩウェーハ・拡散ウェーハなどを取り扱っております。 お客様の用途に合わせて適したウ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エナテック 東京本社

『セラミックス製品のオーダーメイド製作』※資料進呈

1個から生産OK！原料の配合から成形・焼成・加工・検査まで一貫対応

【材料と用途例】 ◎アルミナ 　車載、産業用機器、真空装置、半導体製造装置、理化学機器、インフラ設備 ◎ステアタイト 　車載、産業用機器、加熱装置、照明機器、インフラ設備 ◎フォルステライト 　電子管、各種センサー類、気密端子 ◎コージライト 　ヒューズ...

メーカー・取り扱い企業： 大塚セラミックス株式会社 営業所

RIBER社EZ-CURVE 真空装置In-situ反りモニター

各種真空装置内でのウエハ応力、反り、曲率、異方性等をリアルタイム、高精…

RIBER社で開発されたEZ-CURVEは各種真空装置に取付可能であり、応力、反り、曲率、異方性等の測定が可能なIn-situモニターです。 特徴 1) In-situ応力、反り、曲率、異方性等の測定可能 2) 成長メカニズムに関する基礎データ取得にも利用可能。 3) 各種真空成膜装置（CVD, MBE, PVD等）や真空プロセス装置(エッチング、アニーリング等）に対応可能。 4) 従来...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

タングステン(W)/モリブデン(Mo)

炉用部品、半導体製造装置・検査装置などに好適

航空機、電子機器などあらゆる分野で使用され、産業界の技術革新を支えています。 ＜タングステン・モリブデン材料（加工部品、ワイヤー、メッシュ）＞ 機　能：高強度、耐熱 用途例：高温炉、半導体製造装置・検査装置 ...

メーカー・取り扱い企業： 三和マテリアル株式会社 本社

半導体・食品関連量産品から多種少量品もOK　加工カタログ

50年以上の実績！半導体・食品関連の量産品から多種少量品まで。ステンレ…

伊藤精工は創業昭和35年以来50数余年に渡り、量産品から多種少量品まで、技術改革と品質の安定と高精度部品の製造をめざしており、その結果多くのお取引様より高い信頼と評価を頂いております。 約100台以上のNC制御装置付機械により、製品にあった機械を選定できると共に多品種の製品の加工を可能にしており、多様化するニーズにお答えしていきます。 【用　途】 消火器・消火装置、食品関連、計器・計測器...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤精工株式会社

FAソリューション(システム)『生産管理・監視システム』

納入実績多数あり！さまざまな装置の最適化を実現するドライブシステムをご…

ムをご提案するFAソリューションです。 納入実績例として、自動車メーカーへ“ALCシステム”、 “エンジン加工ライントレーサビリティーシステム”を納入。 また、半導体設備関係に“半導体製造装置EESシステム”や、 “液晶基板検査システム”を納入しています。 【納入実績】 ■自動車メーカー(ALCシステム、エンジン加工ライントレーサビリティーシステム) ■半導体設備関係(...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コバヤシ

Hepco Motion社　高低温/真空対応ベアリング

Hepcoの極限温度範囲/真空対応ベアリングは、最も困難な環境に対応す…

許容負荷範囲：0〜8,000N 速度　　　　：0〜8m / s Hepcoの極端な温度と真空の範囲は、最も困難な環境に標準化されたリューションを提供することにより、設計エンジニアが直面する課題に対応します。 •半導体、ウェーハ処理、LCD＆有機ELパネル製造、蒸着装置などの産業および科学分野での高真空使用に適しています。 •-50℃〜+ 210℃の温度で使用可能です。 •過酷な環...

メーカー・取り扱い企業： ミワ株式会社

ジャバラ物語　その３ 「ＬＳＩを塵から守る」

移載ロボットのネジカバー装備でクリーンルームを守る！

LSIや超LSIなどの半導体集積回路の製造には、さまざまな高性能機械装置が使われています。そして、これらの装置のすべての操作は、塵が全くないと言っていいほどの清浄な部屋（クリーンルーム）の中で行われています。不良品発生の原因となる超微細な塵をシャットアウトするため、移載ロボットのネジカバー装備があります。ジャバラのネジカバーの特長はクリーン度の要求を満たす材料、環境にやさしい材料を使用しています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャバラ／JABARA CO.,LTD.

サンプル形状を選ばず、自由に処理！バレルタイプ プラズマ処理装置

微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質が可能！溶液を使用せずに洗…

【装置特徴】 ■サンプル形状を選ばない自由な処理（円筒形処理室／等方性プラズマ） ■多様なプロセス：Ａｓｈｉｎｇ（洗浄）、Ｅｔｃｈｉｎｇ、表面改質等 ■部品は全てクリーンルーム対応（半導体製造装置として使用可能） ■廉価、小フットプリント設計 ■量産装置としてお使い頂ける安全仕様 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

精密機器輸送・保管サービス

精密機器の輸送でお困りの方に！時間指定・梱包作業・空調(定温)保管など…

りますので、お気軽にお問い合わせください。 【事業内容】 ■一般貨物自動車運送事業 ■貨物自動車利用運送事業 ■倉庫業 ■産業廃棄物収集運搬業 ■古物商 ■コンピュータ機器・半導体製造装置及び周辺機器の保管・輸送、据付 ■不動産賃貸業 ■梱包事業（国内国外向け） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サン・エキスプレス

フレキシブル シンタリングシステム『SIN200+』

次世代パワー半導体モジュールのシンタリング（焼結）接合試作＆量産装置

シンタリングシステム『SIN200+』は、従来ののSn系はんだ材に代わる新しい接合技術で、パワー半導体モジュールのシンタリング(焼結）によるダイアタッチ接合のR&D試作評価から量産までの用途に対応できます。特に、SiCパワー半導体に最適です。 真空チャンバー内での加熱、シンタリング（加圧）、冷却の全工程で、サブストレート温度、雰囲気圧力および、プロセスガスを、リアルタイムで正確に制御すること...

メーカー・取り扱い企業： ピンク・ジャパン株式会社

半導体業界向け！シロキサンフリーの補填剤で被害を抑制！

シロキサンガスによるウェハー汚染や接点障害を抑制！シロキサン含有量が5…

被害を抑制します。 シロキサンによる「ウェハー汚染」や「接点障害」、「金属部の腐食」、「化学反応による異物の発生」、「露光装置レンズの汚れ」を抑制することで、クリーンルーム内部の隙間埋めや、半導体製造装置内部の目地止めに利用可能です。 【特長】 ■酸とアルカリ両方の薬品に耐性有り ■常温で自然乾燥 ■シリコーンを含んでいないフッ素ゴムが主原料　など ※無料サンプル進呈いたしま...

メーカー・取り扱い企業： 太平化成株式会社

ファインセラミックスの一貫生産＜素材選定から成形、加工まで対応＞

耐摩耗性・耐熱性・耐薬品性などに優れた次代を担うファインセラミックスを…

選定や成形から焼成、加工までを社内で一貫生産 ■新鋭の開発システム・製造設備を導入 ■酸化物、非酸化物の精密セラミックスが得意 ■共同開発、他社材分析等の技術的な相談も可 ■国内大手の半導体製造装置メーカーで実績あり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 大光炉材株式会社 新素材統括部

真空装置　平行平板評価用プラズマ処理装置　　

半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…

チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまで貴社のご要望に適したバージョンが選択できます。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、ＡＰＣを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することができます。 【特長】 ○RIEプラズマエッチング装置 ○6インチまでのシリコンウエハ、小型角基板の異方性エッチングが可能 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

隔膜式真空計（バラトロン真空計）

150℃/200℃対応！バイオ医薬品製造に最適な隔膜式真空計。

高温制御型の真空計で長年の実績を持つMKSが提供する最新モデル コンパクトな一体型、省電力を実現...150℃/200℃対応！　バイオ医薬品製造、半導体製造プロセスに最適なバラトロン真空計 バラトロン631Bは、高温制御型真空計を10年以上にわたり供給してきたMKSの最新コンパクトモデルです。 センサ内部を高温に保持し、プロセス副生成物のセンサへの堆積を防止することにより、ドリフ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

300mmウエハー対応クリーンオーブン『SO2-12-F』

300mm(12インチ)ウェーハ対応の半導体製造向けクリーンオーブン

『SO2-12-F』は、FPD製造装置のベストセラー、枚葉式クリーンオーブンの 技術を取り入れた半導体製造向けのクリーンオーブンです。 300mm(12インチ)FOUP対応で全自動での運用が可能。50枚/1チャンバーの 処理が可能で、2チャンバーまでの増設ができます。 ポリイミドキュアなどの低温処理で高スループット、短タクトタイムを実現します。 【特長】 ■FOUP対応全自...

メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部

『アルミ表面処理　問題解決事例集』※全16事例掲載

知らないともったいない！特殊アルマイト処理による長寿命化や性能向上など…

【掲載内容（16事例）】 ◎半導体製造装置への異物混入防止 ◎摺動相手の樹脂の摩耗減少 ◎医療向け光学部品の摺動性向上 ◎IC検査治具への耐熱性絶縁膜 ◎油圧装置の耐摩耗性・気密性向上 ◎化学処理装置の封止材接合下地 ◎高...

メーカー・取り扱い企業： 東栄電化工業株式会社 相模原本社工場