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自動レジスト塗布現像ベーク装置『LITHOTRACシリーズ』
知識と経験を活かし、お客様のニーズに最適な仕様でご提供致します!
当シリーズは、研究開発用途から生産用途まで、半導体製造プロセスに 関わるあらゆる分野に適応可能なレジスト塗布・現像・ベーク装置です。 自由度の高い設計になっていて、研究開発及び量産仕様に最適です。 また、塗布ユニット/現像ユニットを搭載...
メーカー・取り扱い企業: リソテックジャパン株式会社
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