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全ての薬液、高純度のアプリケーションの流体制御に最適な設計です
Malema社製の『フローコントローラー』は、高純度薬液用のため接液部が オールテフロン製です。 制御・モニター製品をはじめ各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で 使用されています。 また、今まで流量のモニター、制御が難しかった発泡性薬液、 CMP用スラリーなどの薬液の制御に特化したコリオリ式のフローコントローラー ...
メーカー・取り扱い企業: ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫
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