圧力ベースマスフローコントローラ【GP200シリーズ】

最高の性能を最大限に引き出す！先駆的な半導体プロセスのための最新型圧力…

GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、 コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、 従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と 再現性が向上しています。 【特徴】 ■測定誤差の低減 ■すべてのプロセス条件に好適 ■高精度な流量制御 ■バルブリークを1/100に低減 ※詳しくはお問合せください。...※詳しくはお問合せくだ...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社