プラズマモニタ

エッチング・スパッタ・CVD等プラズマモニタに好適！

プティクス社製の小型分光器は、リアルタイムでチャンバ内の プラズマ発光スペクトルを取得するために多くのお客様から選ばれています。 これらの発光スペクトルから求めたプラズマ特性を監視し、 半導体製造におけるプラズマベースのプロセス制御等に好適です。 『プラズマモニタ』は、スタンダードモデルのFLAMEをはじめ、高分解能モデルの HR4000またはバッファリング対応UV高感度モデル...

メーカー・取り扱い企業： オーシャンフォトニクス株式会社

膜厚測定

膜厚測定に関するアプリケーション情報を詳しく解説します

オーシャンオプティクスは、半導体、産業、医療および消費者市場の アプリケーション向けに光学的および非光学的膜厚特性を測定するための モジュラー式および完全統合型システムの両方を提供しています。 顧客は、シリコンウェーハ...

メーカー・取り扱い企業： オーシャンフォトニクス株式会社