【新製品】超高純度用ダイヤフラム・バルブ「ALD7」

数百万サイクルにわたり、ALD用プリカーサーの高精度供給を実現。半導体…

超高純度用ダイヤフラム・バルブ「ALD7」は、 半導体製造の原子層蒸着(ALD)に必要なプリカーサーなど 超高純度の流体を、高精度で安定供給できるバルブです。 製品ごとの個体差を減らしたことで、 流量、アクチュエーターの速度、熱安定性などの各種性能...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン

『原子層蒸着(ALD)用バルブ』※性能テスト結果付き技術資料進呈

高速開閉、非常に優れたサイクル・ライフ。大流量や高温環境、腐食性流体に…

スウェージロック社は、ALDバルブ技術で世界をリードする企業のひとつとして、 半導体デバイス製造アプリケーション向けのソリューションをお届けします。 【特長】 ○非常に優れたサイクル・ライフを実現する独自のデザイン ○高速の開閉機能 ○高温下でも安定した流量を実現 ...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン

原子層蒸着(ALD)用バルブ ALD20

さらなる領域へ、ALDバルブ技術のブレイクスルー

半導体デバイスの微細化に欠かせないＡＬＤプロセス。ガス供給を制御する高い性能が求められるバルブ。 スウェージロック・ジャパン『ＡＬＤ２０』は大流量・高温用途に対応したＡＬＤ用バルブの新製品です。 高速開閉・長寿命・高い再現性といった特長を有し、アクチュエーターなど各種オプションも用意。...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン