【新製品】超高純度用ダイヤフラム・バルブ「ALD7」スウェージロック・ジャパン

数百万サイクルにわたり、ALD用プリカーサーの高精度供給を実現。半導体製造の歩留り向上に貢献するシリーズ最高位モデル

超高純度用ダイヤフラム・バルブ「ALD7」は、
半導体製造の原子層蒸着(ALD)に必要なプリカーサーなど
超高純度の流体を、高精度で安定供給できるバルブです。

製品ごとの個体差を減らしたことで、
流量、アクチュエーターの速度、熱安定性などの各種性能に一貫性があり、
バルブ間・プリカーサーの供給間・チャンバー間の
すべてにおいて高いパフォーマンスを発揮します。

【特長】
■コンパクトで高性能。省メンテナンスも実現
■数百万サイクルにわたり、プリカーサーの正確な供給が可能
■高速作動を実現。レスポンスタイムは最速5ms
■アクチュエーターは150℃、バルブ本体は200℃の優れた耐熱性
■ボディに当社独自の「316L VIM-VARステンレス鋼」を採用。高耐食を実現

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

関連リンク - https://products.swagelok.com/ja/%e3%83%90%e3%83%a…

基本情報【新製品】超高純度用ダイヤフラム・バルブ「ALD7」

【仕様】
流量係数（Cv値）：0.7
バルブ間の流量変動：±1％
サイクル・ライフにおける流量変動（使用時）：2％
開状態・閉状態になるまでのレスポンスタイム：<5ms
アクチュエーターのレスポンスの一貫性：±1ms
アクチュエーターの最高使用温度：150℃
バルブの最高使用温度：200℃
高さ（MSM）：75.1mm
フットプリント（MSM）:38.1mm

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型番・ブランド名	原子層蒸着（ALD）プロセス用途向け超高純度用バルブ
用途／実績例	超高純度用Swagelokダイヤフラム・バルブ ALD7は、50年以上にわたり半導体装置メーカーやツール製造業者をサポートしてきたスウェージロックの原子層蒸着（ALD）用バルブ技術を結集した最新のイノベーションです。この高性能半導体用バルブを使用することで、ツール製造業者や半導体装置メーカーは、現在の生産工程の限界を克服するために必要な流量の一貫性、流量、作動スピート、高温性能を実現することで、製造デバイスの歩留まりを向上させ、収益性を高めることができます。