システム【流量制御機器】FCS Thermal Series

熱式流量センサ制御方式を採用した、流量制御機器です。

ンとリードタイムの短縮を実現した デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー 【特徴】 ○高精度 　流量精度±1％を実現 ○高性能センサ 　低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び 　安定性の低いガスに最適構造を実現 ○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止 　高速応答ピエゾアクチュエータを採用 　デットスペースフリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社