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ローコストでフォトリソグラフイに必要な機能を完備!マスクアライナー
ト装置 ■露光方式 ・1・1等倍露光 コンタクトおよびプロキシミティ ■適応試料 ・最大φ4インチ 厚さ3mm以内 ・各サイズとも試料台の変更により対応可能 ■固定方式 ・真空吸着式 ■適応マスク ・最大□5インチ 厚さ0.06または0.09インチ ・各サイズともマスクホルダの変更により対応可能 ■固定方式 ・真空吸着式 ■マスクホルダ ・ヒンジ開閉式(...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ナノテック
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