実験・研究用マスクアライナー『ES410』

ローコストでフォトリソグラフイに必要な機能を完備！マスクアライナー

ト装置 ■露光方式 　・1・1等倍露光　コンタクトおよびプロキシミティ ■適応試料 　・最大φ4インチ　厚さ3mm以内 　・各サイズとも試料台の変更により対応可能 ■固定方式 　・真空吸着式 ■適応マスク 　・最大□5インチ　厚さ0．06または0．09インチ 　・各サイズともマスクホルダの変更により対応可能 ■固定方式 　・真空吸着式 ■マスクホルダ 　・ヒンジ開閉式（...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック