自動搬送型透明基盤検査装置

高精度な表裏分離を可能にした基盤検査装置

場合要相談) ■スキャン方式：X-Yスキャン／Θ-Xスキャン(螺旋スキャン) ■スループット：□200mmを約4分／Φ200mmを約3分(高速スキャン対応可) ■ワーク設置：搬送ロボット(裏面吸着／エッジクランプ) ■装置外形寸法：W1,800mm×D1,230mm×H2,151mm ■本体重量：約1,000kg ■消費電力：約1.5kW(100V) ■検査対象基板：石英ガラス基板、...

メーカー・取り扱い企業： ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫