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高精度な表裏分離を可能にした基盤検査装置
場合要相談) ■スキャン方式:X-Yスキャン/Θ-Xスキャン(螺旋スキャン) ■スループット:□200mmを約4分/Φ200mmを約3分(高速スキャン対応可) ■ワーク設置:搬送ロボット(裏面吸着/エッジクランプ) ■装置外形寸法:W1,800mm×D1,230mm×H2,151mm ■本体重量:約1,000kg ■消費電力:約1.5kW(100V) ■検査対象基板:石英ガラス基板、...
メーカー・取り扱い企業: ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫
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