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ウェーハ単体、ウェーハリング等に対応!専用ノズル追加で界面活性剤を塗布…
ト、 エクスパンド)等々、さまざまな工程に対応可能です。 【特長】 ■純水のみで高速洗浄 ■さまざまな工程に対応可能 ■専用ノズル追加で、ブラシ洗浄時に界面活性剤(中性/弱アルカリ)を塗布可能 ■オプションでブラシ押付圧力機構を取付可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ダイトロン株式会社
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