多機能抽出 | イプロス医薬食品技術

PRY字ミキサーとセトラーを一体化！抽出・分離のフロー化・省人化に寄与！

新発売　分液漏斗の連続フロー化・自動化！スラグ流効果で抽出・分離をスムーズに。当社で取り扱う、「連続自動化ミキサーセトラー」をご紹介いたします。 Y字ミキサーとセトラーの一体化でコンパクトフローを実現。界面コントロールで1週間ノンストップ運転を実証済み。実験操作をそのまま自動化しており、多段階抽出・分離で小型プラントのラボオートメーション化が可能です。また、安全機能...

メーカー・取り扱い企業：マックエンジニアリング株式会社

多機能抽出器

「ドリップ抽出」や「浸漬抽出」など！多岐に渡る抽出方法を1台で実践でき…

抽出」や「浸漬抽出」「浸漬、ドリップ抽出」が可能。サイドメッシュ構造で、原料投入後の豆ならしを自動化する昇降式豆ならし装置機能や抽出時の温度低下を防ぐ蒸気ジャケット付です。【多機能抽出器の機能】 ■昇降式豆ならし装置機能 ■サイドメッシュ構造（特許機能） ■抽出時の温度低下を防ぐ蒸気ジャケット付 ■多種抽出パターン、工程を自動化 ■抽出残渣の払い落し、抽出濾過網の洗...

メーカー・取り扱い企業：三友機器株式会社

多機能抽出装置

対象物に応じた抽出方式を採用し高い抽出効率と高品質を実現します！

当社の多機能抽出装置は、幅広い抽出方式が可能な多機能抽出器を基に原料供給からカス排出まで、付帯機器を含んでパッケ－ジ化したものです。 1台で「コーヒー」から「だし」まで多様な抽出方法が可能です。ご...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イズミフードマシナリ

高温高圧多機能抽出装置

浸漬・循環式抽出や半浸漬式抽出が可能！設計圧力0.4MPa、設計温度1…

当製品は、設計圧力0.4MPa、設計温度145℃を実現した高温高圧多機能抽出装置です。ドリップ式抽出をはじめ、浸漬式抽出や半浸漬式抽出などが可能。ここ数年、飲料用のコーヒー豆等の原料コストが高騰しております。それに対応するため、更なる高温高圧仕様を実...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イズミフードマシナリ

溶媒抽出装置『ST245ソックステック』

2サンプル同時抽出！迅速、安全、経済的に固体、半固体サンプルの抽出。

『ST245ソックステック』は、食品、飼料、土壌、石油化学製品、製紙、繊維製品等の可溶性物質、粗脂肪、脂質を安全かつ迅速に抽出するマニュアル式ソックスレー抽出装置です。固体、半固体サンプルの抽出を迅速、安全にしかも経済的に行えるよう設計。食品・飼料・環境・工業等の幅広い分野における様々なサンプルに対して高い融通性と確かな適用性をもっております。【特長】 ■ソッ...

メーカー・取り扱い企業：フォス･ジャパン株式会社

磁性固相抽出試料前処理用トータルソリューション

ノイズが少ない！ライブを含む規制要件を満たす抽出ステップを使用

当社でご提供する「磁性固相抽出試料前処理用トータルソリューション」をご紹介します。様々な分野のクロマトグラフィーや質量分析のためのハイスループットなサンプル前処理に広く使用。全自動の磁性固相抽出装置を備え、高度な混合技術を利用。「ASP単分散磁性固相抽出マイクロスフェア」と「DSP多分散磁性固相抽出マイクロスフェア」といった製品がございます。【製品の優位性...

メーカー・取り扱い企業：科健化学株式会社 Science and Health with Chemistry CO., LTD.

分液漏斗の連続フロー自動化ミキサーセトラー

Y字ミキサーとセトラーを一体化！抽出・分離のフロー化・省人化に寄与！

新発売　分液漏斗の連続フロー化・自動化！スラグ流効果で抽出・分離をスムーズに。当社で取り扱う、「連続自動化ミキサーセトラー」をご紹介いたします。 Y字ミキサーとセトラーの一体化でコンパクトフローを実現。界面コントロールで1週間ノンストップ運転を実証済み。実験操作をそのまま自動化しており、多段階抽出・分離で小型プラントのラボオートメーション化が可能です。また、安全機能...

メーカー・取り扱い企業：マックエンジニアリング株式会社

化粧品原料コラーゲン産生、弾力改善植物エキス　ジンセンコスメレン

コラーゲン産生促進、ジンセン、ジンセノシド、ハリ改善、弾力改善、アンチ…

ジンセンコスメレンは漢方薬で体内の働きを活発にし、強壮剤として使われるジンセンの根から抽出したエキスです。主成分としてジンセノシドを含有しています。本製品は、皮膚細胞のコラーゲン産生を促進し、細胞外マトリックスを補強しバリア機能の強化とハリや弾力の改善効果が期待できます。＜作用機序＞ジンセンコスメレンは皮膚細胞のコラーゲン産生を促進し、細胞外マトリックスを補強し弾力性を改善しま...

メーカー・取り扱い企業：株式会社樋口商会

『抽出・精製OEMサービス』のご案内

自然界が生み出す「素材のチカラ」をお客様のニーズに合わせてカタチにしま…

【主要機材】 ■製造設備　・抽出・精製タンク　・多機能抽出濾過器　・回転乾燥機　・薄膜式真空蒸留機　・冷凍機　他 ■研究品質管理設備　・高速液体クロマトグラフ　・ガスクロマトグラフ　・赤外分光光度計　・自動灰化装置　・...

メーカー・取り扱い企業：株式会社岡安商店本社

多変量解析ツール(品質シミュレーション)

品質シミュレーションにより製品品質改善・歩留まり向上を可能にします。

多変量解析ツール(品質シミュレーション)はお客様の現場における、製造品質改善や設備の異常検知などの実績が豊富なアナリティクス・AI(解析・最適化技術)です。製造プロセスにおける複数要因からなる異常を検出したり、製品品質と要因の関係式を求め、品質シミュレーションを可能にすることで製品品質改善・歩留まり向上実現します。この解析ツールの特徴の一つは導入効果を早期に検証できることです。 ...

メーカー・取り扱い企業：富士電機株式会社パワエレ営業本部　プロセスオートメーション統括部

創薬関連装置「培養ブロス自動抽出装置」【開発事例】

溶液の分注、加振、遠心分離の機能でサンプル内の必要な成分を分離、精製

創薬関連装置「培養ブロス自動抽出装置」は、有用物質（新薬の開発用）を取り出す装置です。保冷庫内160本のサンプルに対して、溶液の分注、加振、遠心分離の機能を使って、サンプル内の必要な成分を分離、精製します。【特徴】 ○精製された高純度の試料は、分取ユニットにてPP製の試験管へ採集 ○キャップをした状態で保冷庫に戻される詳しくはお問い合わせください。...【構成および仕様】 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピーエムティ― 関東事業所 LIFETECH

ピッキングカートさいまるカート/さいまるカートタブレット

バラピッキング作業現場のコスト削減・誤出荷低減

■生産性向上を実現ピッキングカートはこれまでかかっていた無駄な作業を減らし、現場作業を支援する機能を豊富に搭載しています。 ■高効率でのピッキング作業を可能にするイシダ独自の最適化ロジック ●最適化ロジックイメージ歩行動線短縮ロジックカートのロケーション情報をもとに、最適なルートを提案。作業者はカートの指示に従うだけで最短ルートで効率的にピッキング作業を行えます。 ●マルチヒ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イシダ

粉末化までの工程を社内で一貫加工【健康食品原料受託加工】

抽出工程からエキス化、粉末化までの工程を社内で一貫加工！運搬に伴う品質…

【所有設備】 ■多機能抽出装置（浸漬式抽出） ■エバポール（遠心式薄膜真空蒸発装置） ■オートクレーブ（高圧蒸気滅菌機） ■フリーズドライヤー（凍結乾燥機） ■スプレードライヤー（噴霧乾燥機） ※詳しくはP...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メタルカラー

【無料プレゼント中！】自動化システム　総合カタログ

ライフサイエンス関連自動化システム開発事例・共同研究実績・OEM実例

自動化装置の開発・カスタムメイドからアフターサポートまで、研究者を支援している、株式会社ライフテックの「ライフサイエンス関連自動化システム　総合カタログ」を無料プレゼント中！脂質メソフェーズ法(LCP法)によるタンパク質結晶解析用のスクリーニングプレートを作成する脂質キュービック液晶ディスペンス装置をはじめ、様々なシーンに対応するライフサイエンス関連自動化システムを多数掲載しています。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピーエムティ― 関東事業所 LIFETECH

【資料】高血糖・PCOS（多嚢胞性卵巣症候群）とグリスリンの関係

インスリン抵抗性を改善するグリスリンの機能や活用法について解説！

健康、機能性食品および素材の研究開発等を行っているサン・メディカから『高血糖・PCOS（多のう胞性卵巣症候群）と“グリスリン”の関係』について解説している資料を無料配布中。 “グリスリン”とはマイタケ由来のインスリン作用を調節する物質です。 HMG・FSHによる排卵誘発でOHSSや多胎となる症例に対し、マイタケから抽出されインスリン抵抗性改善作用を有する水溶性グリコプロテイ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サン・メディカ本社

スポーツコーチングカム

必要なシーンの抽出を劇的に短縮！『前半の試合内容をハーフタイムで映像を…

【特長】スポーツコーチングカムはタギング情報を撮影時に入力可能とした画期的なビデオカメラです。映像分析に要する時間の劇的な短縮を実現する新機軸ビデオカメラ。カメラへ直接タギング入力を可能としたことで、必要なシーンの抽出を劇的に短縮可能。タグ付けされた映像は、タグを絞り込むことでハイライト映像集の作成をいとも簡単に行うことができます。無線で複数台の同時制御を容易に行なえ、多視点...

メーカー・取り扱い企業：株式会社スポーツセンシング

多目的ロバスト設計最適化支援ツール『modeFRONTIER』

多目的関数の最適化に対応！商用ロバスト最適化ツール

『modeFRONTIER』は、イタリアの最適化技術の専門企業ESTECO s.r.lにより開発された汎用の設計者支援ツールです。多目的最適化に対応し、2001年の販売開始以来、各大学との連携を中心に、当社の手法・アルゴリズム・結果処理機能を搭載しつづけています。単なる最適解のアウトプットだけでなく、設計者自身が、その解がなぜ最適なのかという考察を支援するために、新たに...

メーカー・取り扱い企業：株式会社IDAJ

『インクジェットソリューション』＜電子回路基板の印刷など動画有＞

エプソンのインクジェット技術で、省人化、環境負荷・コストの低減、品質向…

当社はインクジェット技術をものづくりに応用し、効率的な少量多品種生産などを実現する『インクジェットソリューション』を提案しています。製造工程のヒアリングを行い、インクジェットによる印刷工程の省人化や塗料のムダをカットすることにより環境負荷の低減など、インクジェット装置の開発まで含めたトータルのご提案が可能です。ヘルメットへの直接配線、珪藻土・木材・フィルムへの保温機能の...

メーカー・取り扱い企業：エプソン販売株式会社 IJSMD課

円柱型部品全面外観検査装置

筒状ワークの全面を高速で画像検査、側面及び前後端面形状を検査します

円柱型部品全面外観検査装置は、ピン、カップ、ニードル、小径パイプ状部品などの筒状ワークの全面を高速で画像検査します。また、側面（円周面）及び前後端面形状を検査します。高解像度カメラにも対応可能で、微細なキズまで確実に検査します。NG画像履歴を一定数記憶でき、後からの解析にも便利です。さらに、品種登録機能により、多品種のワークも簡単に切り替えて検査できます。詳しくはお問い合わせ、またはカタログ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒューブレイン

【第13回化粧品開発展東京】台湾発！霊芝由来の原料を出展

霊芝から生成した免疫調節タンパク質を紹介！原料として食品にも使われるほ…

当社は、2005年設立以来、業界に先駆け真菌由来のタンパク質の発見と大量生産に成功。原料の抽出技術は特許はじめ、さまざまな認定機関での認定を取得しております。「Pichia R-Ganoderma Microsporum Polypeptide-1 Ferment Filtrate Extract」は、MycoMagicの特許取得済みGMI（Ganoderma microsporum...

メーカー・取り扱い企業：合同会社MycoMagic

三次元ビーズ衝撃式ホモジナイザー『シェイクマスターオート』

試料の破砕・撹拌・分散・エマルジョンなどに対応可能な三次元ビーズ衝撃式…

『シェイクマスターオート』は、多用途に対応可能な三次元ビーズ衝撃式ホモジナイザーです。試料と破砕用ビーズを容器に一緒に入れて高速で振動させることにより、生体組織や食品、医薬品、プラスチック材料などを破砕することができます。原料の粉砕・共結晶化・微粒子化や均一化、そのほか成分分析の前処理に対応可能です。オートクランプ方式でブロックを置くだけのワンタッチ操作。【特長】 ■DNA／...

メーカー・取り扱い企業：株式会社バイオメディカルサイエンス

健康食品素材『Chinositol』

健康な排卵と妊娠を助ける天然の健康食品の素材

『Chinositol』はイナゴマメの莢から抽出した D-Chiro-Inositol（DCI）を95％以上に含有した製品です。 DCIは人体内に存在する糖アルコールの一種で、myo-inositolの異性体です。 Chinositol（DCI）の摂取によるインスリン感受性の増加およびホルモンの正常化を通じて、PCOS（多嚢胞性卵巣症候群）を改善して排卵能力を向上させて、妊娠...

メーカー・取り扱い企業：有限会社サービステックジャパン東京分室

電磁界解析ソフト　【AIRCUBE　直交格子プリポストシステム】

電磁波解析、電磁場解析、流体解析向け、直交格子メッシュ作成のプリポスト…

ＡｉｒＣｕｂｅは、流体解析、電磁波解析、音場解関などで多く用いられている有限差分法に対応した、直交格子専用のプリポストシステムです。お客様のソルバーに簡単にリンクできます。従来のソフトウエアに比べ、シンプルで使いやすく、且つ多機能を併せ持ち様々なニーズに対応できます。また、大規模モデルにも高いパフォーマンスを発揮し、複雑な形状への対応も可能にします。【プリ機能】・ＰＭＬなど...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ミューテック

エスプレッソマシン『X Shot＜エックスショット＞』

あなたの「飲みたい」をかなえる一台。お茶のエスプレッソも出せる、多機能…

様々なシーンに合わせた飲料に対応できる高機能エスプレッソマシンです。こだわり抜いた機能があなたを満足させる味を実現します。ご家庭で、オフィスで、手軽にカフェをお楽しみください。【特徴】 ■3種類のこだわり抽出プログラム搭載 ■こだわり飲料　“緑茶／紅茶エスプレッソ”ができる ■プログラム変更機能 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。....

メーカー・取り扱い企業：西山工業株式会社

メール共有システム『GrpMail(グループメール)』

メール対応業務をもっと楽に、正確に！1つのメールアドレスを複数人で共有…

『GrpMail(グループメール)』は、複数名でメールを共有し管理するシステムです。ブラウザから当システムにログインし、グループ(プロジェクト)でのメール対応が可能。複数人で情報共有することによってメールの重複対応や対応漏れのトラブルを防止することができます。【特長】 ■タグ機能でメールを分類し、すばやくメールを抽出可能 ■リアルタイムで対応状況を確認し、対...

メーカー・取り扱い企業：キー・ポイント株式会社

作業支援ツール「プロジェクションアッセンブリーシステム」

プロジェクションマッピングで、次に取る部品を的確に指示！ミスが減り生産…

「プロジェクションアッセンブリーシステム」は、少量多品種生産などで複雑になりがちな組立作業を、プロジェクションマッピングによる表示・指示で効率化するシステムです。部品を取り出す場所が視覚的に分かるため、ミスが起こりにくく、頻繁に変わる製品やラインの変更にも対応できます。 I/Oによる電動工具や外部アプリとの連携にも対応。専用アプリを使うことで、進捗の見える化、問題箇所の可視化...

メーカー・取り扱い企業：ダイオーミウラ株式会社ラベルシステム営業本部（旧：ダイオーポスタルケミカル）

【解析事例】歩行者保護性能評価業務の効率化とさらなる技術深耕

1機種あたり約40時間の性能予測を10秒に短縮！CAEを使わず性能評価…

本田技術研究所様が、歩行者保護性能評価業務の効率化とさらなる技術深耕のために、当社のAIコンサルティング・サービスを活用した事例をご紹介します。同社は、歩行者保護、剛性の両方の観点から適した解を探して、複合的に解を探索しようとしてみましたが、それでは限界があるように感じました。そこで、機械学習させた上で各種条件を再現するという技術にトライしました。導入した結果、これ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社IDAJ

多検体濃縮装置　シンコアプラス・ポリバップ

1台で3つの機能を備えたパラレル蒸留・濃縮、合成装置

蒸留から乾燥まで広範囲のサンプルを効率的にパラレル蒸留・濃縮しています。多数サンプルの同時濃縮は、パラレルな多段合成、抽出、品質管理、クロマトグラフィーの生産性を上げるために欠かせない条件です。ポリバップはこの問題を迅速・安全に解決し、高沸点溶媒にも対応しています。また、交換可能なラックを使い分けることにより、0.5～500mlの範囲のサンプルを蒸留できます。オプションのバキュームコントローラ...

メーカー・取り扱い企業：日本ビュッヒ株式会社

【日用品・生活雑貨向け】物流のお悩み解決します！　※事例集を進呈

製造ロットや使用期限等による繊細な商品管理が可能なクラウド型倉庫管理シ…

『LIFE - Vision』は、生活必需品を扱う物流センター向けに特化したクラウド型の倉庫管理システムです。複数センター・複数荷主に対応しており、クラウドサービスにて大小さまざまなデータ量に対処できますので、規模に応じた費用感でご提供いたします。【こんなお悩みを解決します】 ■技術者不足によるサポートが限界になりつつある ■店舗拡大に伴い、作業精度の向上や賞味期限...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東計電算　物流システム営業部第一事業所

ボールミル『ミキサーミル　MM500』※新製品

処理量が約３倍となり、作業効率大幅アップ！シリーズ最高の粉砕力＆凍結粉…

『ミキサーミル　MM500』は、従来機に比べ容量の大きい粉砕容器を採用し、粉砕力も向上した卓上サイズのボールミルです。シリーズ最高35Hz(2100rpm)の粉砕力を備え、遊星ボールミル並の超微細粉砕や、ガス雰囲気下での粉砕、凍結粉砕など多用途で活躍。容器容量がUPしたことで従来機では複数回に分けて処理していた試料を 1回で処理できるほか、サンプルの抽出・チェックも簡単に...

メーカー・取り扱い企業：ヴァーダー・サイエンティフィック株式会社

オプション解析サービス（メタゲノム解析とあわせてご利用ください）

メタゲノム解析とあわせてお客様のご要望によりさまざまなオプション解析を…

・Staphylococcus 解析 (※16S rRNA遺伝子解析に追加のみ) ・細菌DNAのコピー数解析 (※16S rRNA遺伝子解析に追加のみ) ・各種統計解析（多様性解析、多変量解析、有意差検定、群間比較など）・クラスタリング解析...・Staphylococcus 解析 (※16S rRNA遺伝子解析に追加のみ) 　ブドウ球菌属を表皮ブドウ球菌と黄色ブドウ球菌に分類します。表...

メーカー・取り扱い企業： MySkin株式会社

『物流ソリューション導入事例集』

日用品・生活雑貨向け物流システム「LIFE－Vision」の導入事例を…

『物流ソリューション導入事例集』では、日用品・生活雑貨向け物流システム「LIFE－Vision」の導入事例をご紹介しています。当システムは、生活必需品を扱う物流センター向けに特化したクラウド型の倉庫管理システムで、複数センター・複数荷主に対応しており、クラウドサービスにて大小さまざまなデータ量に対処できますので、規模に応じた費用感でご提供いたします。食品スーパーで物流...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東計電算　物流システム営業部第一事業所

【レンタル】RAMScope-EXG GT170シリーズ

複数ECU間の同期計測/同期解析に！モジュールタイプのマルチ計測システ…

横河レンタ・リースでは、モジュールタイプのマルチ計測システム『RAMScope-EXG GT170シリーズ』を取り扱っております。複雑化する車載ECU制御アプリケーションを支援する制御/計測データ (内蔵RAM値)をリアルタイムに抽出して外部信号と合わせて計測/解析可能。テスト支援機能(擬似RAMデータ注入)擬似データ送信や自動テスト環境を実現しました。【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業：横河レンタ・リース株式会社

ラクトフェリン【VLF-1】

原料の牛乳から製品のラクトフェリンまで、100%スイスで製造された高純…

ラクトフェリンは、多くの哺乳動物の乳に含まれている鉄結合性の糖タンパク質です。多機能タンパク質であり、体の免疫システムにとって極めて重要な成分として知られています。ラクトフェリンVLF-1は、ラクトフェリンとして高い生物活性を維持し、かつ優れた打錠性と溶解性を備えています。【特徴】・スイス産乳牛の新鮮な牛乳のみ使用。・効率の高いクロマトグラフィーを使用し、生乳から最大限のラ...

メーカー・取り扱い企業：リバソン株式会社

卓上型三次元ビーズ衝撃式ホモジナイザー『シェイクマスターネオ』

試料の破砕・撹拌・分散・エマルジョンなどに対応可能な三次元ビーズ衝撃式…

『シェイクマスターネオ』は、多用途に対応可能な三次元ビーズ衝撃式ホモジナイザーです。試料と破砕用ビーズを容器に一緒に入れて高速で振動させることにより、生体組織や食品、医薬品、プラスチック材料などを破砕することができます。原料の粉砕・共結晶化・微粒子化や均一化、そのほか成分分析の前処理に対応可能です。コンパクト・消音設計の卓上タイプ。【特長】 ■DNA／RNA／タンパク質の抽出...

メーカー・取り扱い企業：株式会社バイオメディカルサイエンス

直交格子対応プリポストシステム／AirCube

電磁波解析、電磁場解析、流体解析向け、直交格子メッシュ作成のプリポスト…

ＡｉｒＣｕｂｅは、流体解析、電磁波解析、音場解関などで多く用いられている有限差分法に対応した、直交格子専用のプリポストシステムです。お客様のソルバーに簡単にリンクできます。従来のソフトウエアに比べ、シンプルで使いやすく、且つ多機能を併せ持ち様々なニーズに対応できます。また、大規模モデルにも高いパフォーマンスを発揮し、複雑な形状への対応も可能にします。【プリ機能】・ＰＭＬなど...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ミューテック

電磁場解析ソフト　【AIRCUBE　直交格子プリポストシステム】

電磁波解析、電磁場解析、流体解析向け、直交格子メッシュ作成のプリポスト…

ＡｉｒＣｕｂｅは、流体解析、電磁波解析、音場解関などで多く用いられている有限差分法に対応した、直交格子専用のプリポストシステムです。お客様のソルバーに簡単にリンクできます。従来のソフトウエアに比べ、シンプルで使いやすく、且つ多機能を併せ持ち様々なニーズに対応できます。また、大規模モデルにも高いパフォーマンスを発揮し、複雑な形状への対応も可能にします。【プリ機能】・ＰＭＬなど...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ミューテック

日用品・生活雑貨向けクラウド型WMS『LIFE－Vision』

製造ロットや使用期限等による繊細な商品管理が可能。

『LIFE - Vision』は、生活必需品を扱う物流センター向けに特化したクラウド型の倉庫管理システムです。複数センター・複数荷主に対応しており、クラウドサービスにて大小さまざまなデータ量に対処できますので、規模に応じた費用感でご提供いたします。＜特長＞ ■TC、DCの管理が可能 ■ケース・バラ管理、フリーロケーションでの多品種少量対応 ■カテゴリ別、部門別梱包が可...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東計電算　物流システム営業部第一事業所

【解析事例】CVDエッチングプロセス最適条件の探索

最適条件の探索に！多次元表示チャートの活用事例をご紹介！

詳細化学反応解析プログラムCHEMKINと連成した、エッチングプロセス最適条件の探索事例をご紹介します。問題設定としては、原料ガス供給量SCCM、酸素濃度を変化させ、出口C2F6濃度、CF4濃度がそれぞれ最小となり、エッチング速度最大(膜生成速度最小）となる操作点を探索しました。計算の結果、具体的にC2F6濃度とエッチング速度はトレードオフの関係になることが明確とな...

メーカー・取り扱い企業：株式会社IDAJ