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標準3インチフットプリントで既存のガスラインを変更することなく設置可能…
『1179C』は、様々なアプリケーションに対応する汎用型の マスフローコントローラです。 10sccm~20simのフルスケールレンジがあり、0.2sccmの低流量まで 高速で再現性の高い流量制御が可能です。 また適合する圧カトランスデューサを接続することで圧力制御装置 としても使用可能。ほとんどの一般的なMFCと直接置換え可能です。 電気コネクタは業界標準品と同じピン配置...
メーカー・取り扱い企業: 日本エム・ケー・エス株式会社
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