ナノ表面粗さ・形状計測器『ナノセブン TN-A1』

ウエハーの検査に好適！サブナノレベル表面の粗さ・形状を計測します

■計測方式：光ヘテロダイン干渉計測 ■高さ分解能：0.1nm ■基準高さ測定範囲：0.5～300nm ■標準移動量：X軸25mm/Y軸25mm ■光源：赤色レーザー（633nm） ■対物レンズ：倍率20x、NAO.4 ■本体外形寸法：W313×D614×H428 ■本体重量：約27kg ■ソフトウェア：LabVIEW ■クランプ治具：導電性PET 180×180mm ※...

メーカー・取り扱い企業： ツクモ工学株式会社 本社工場