光干渉式膜厚測定装置『Model3100』

多数の納入実績を誇る業界標準機！リニアアレー受光素子を採用

範囲：380～800nm ■膜厚測定範囲：100Å～30μm(膜厚による) ■測定再現精度：2Å(同一ポイント15回測定時の1σ)※膜厚による ■測定時間：0.1～25秒/1ポイント ■対物レンズ(スポットサイズ)：5倍(φ50μm) ■対物レンズオプション：10倍(φ25μm)、50倍(φ5μm) ■装置構成：可視光、フォログラフィック凹面回折格子、リニアアレー素子 ※詳しく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アークステーション