CZウェーハ　エピ受託加工　SiGeエピウェーハ　他

小ロットからの対応可能です。特殊なエピ、多層エピなどにも出来るだけ対応…

工」 1000ohm cmを超えるようなEpi抵抗の高いウェーハや、Epi層が厚いウェーハなども対応させていただきます。 仕様により多層エピ成膜なども対応可能です。 特　徴 ・実験用に小ロット（数枚～25枚）から可能　 ・サブウェーハご指定も可能（お客様よりサブウェーハを支給していただく事も可能です） ・エピ厚さ公差：6-10%以内 (エピ厚さにより変わります） ・抵抗均一性公差...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エナテック 東京本社

FZウェーハ　FZシリコン製品　ガスドープドＦＺシリコン

汚染物質の少ないFZ法で製造された高品質・高純度・高抵抗のFZシリコン…

抗率分布：抵抗率により異なります ○キャリアライフタイム：抵抗率により異なります ○酸素・炭素濃度 ：＜2.0 × 10(16)atoms/cm3 程度 25枚もしくは在庫状況により小ロットから対応可能です。 ●詳しくはお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エナテック 東京本社