『ASM Epsilon用温度センサー』

新コーティング技術で、センサ寿命3倍！最大45％のコストダウンを実現！

今回新たに、米国CONAX社が開発した新技術“EtchDefender”を採用し、 ウエハの異物付着の低減、失透速度、浸食速度のスロー化などにより、 従来のセンサーの最大3倍にまで寿命延ばすことが可能...

メーカー・取り扱い企業： ＩＢＰテクノロジー株式会社