Particle-PLUS マイクロトレンチ上での薄膜生成の解析

マクロとミクロの両スケールから成膜プロセスを解析可能

株式会社ウェーブフロントが自社開発した、粒子法プラズマ解析ソフト ウェア「Particle-PLUS」は基板上に微小溝(マイクロトレンチ)が あるような場合でもマグネトロンスパッタリングの解析ができます。 「Particle-PLUS」は微小溝を含む基盤へのスパッタリング装置全体についてのマクロスケールと微小溝の部分に関するミクロスケールの両方を計算し、成膜プロセスをシミュレーションする...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

Particle-PLUS 同時スパッタリング装置のプラズマ解析

正確な形状を考慮した、デュアルマグネトロンスパッタの解析が可能

株式会社ウェーブフロントが自社開発した、粒子法プラズマ解析ソフト ウェア『Particle-PLUS』は基盤とターゲットが平衡でないような装置の 場合の同時マグネトロンスパッタリングでも解析が可能です。 カットセル作成機能により正確な形状と法線方向を考慮しながら、 直交格子の特長である高精度な電場計算を行うことができます。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社