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ウエハーの検査に好適!サブナノレベル表面の粗さ・形状を計測します
『ナノセブン TN-A1』は、ウエハーの検査に適しているナノ表面粗さ・ 形状計測器です。 研磨加工機の近くに設置して全数検査可能。 レーザーによる非接触型計測のため、計測対象物と接触しません。 また、光ヘテロダイン干渉法による位相差計測を採用し、光の波長を 基準としているため高さ方向分解能0.1nmが可能となり、AFMと互換性の 取れる計測結果を実現しました。 【特長】 ...
メーカー・取り扱い企業: ツクモ工学株式会社 本社工場
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光学特性測定用として、サンプルとホルダ本体を絶縁構造に設計したホルダで…
光学特性測定用として、サンプルとホルダ本体を絶縁構造に設計したホルダです。 サンプルホルダの材質はアルミですが、サンプル設置部にPTFE、固定ネジに樹脂ネジを使用し、サンプルとホルダに絶縁構造とすることにより、外部からの電気による影響を遮断します。...光学特性測定用として、サンプルとホルダ本体を絶縁構造に設計したホルダです。 サンプルホルダの材質はアルミですが、サンプル設置部はPTFE、固定...
メーカー・取り扱い企業: ツクモ工学株式会社 本社工場
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レーザーの高さと角度の可変機構とビームシャッターを組み込んだシステムで…
レーザーの高さと角度の可変機構とビームシャッターを組み込んだシステムです。レーザーの高さと角度はポールスタンドとゴニオステージにより手動で可変可能です。高さは+110mm、角度は最大±20°まで調整可能です。ビームシャッターはシャッター径φ25.4mmで手元スイッチにより開閉可能で、開閉時間は10msです。...レーザーの高さと角度の可変機構とビームシャッターを組み込んだシステムです。レーザーの高...
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低真空対応型の自動回転型偏光子ホルダとなっています。
低真空中の実験で使用可能な自動偏光子ホルダです。最大φ100mmの取付窓に偏光フィルタや波長板を固定し、縦型に360°自動回転させることが可能です。...低真空中の実験で使用可能な自動偏光子ホルダです。最大φ100mmの取付窓に偏光フィルタや波長板を固定し、縦型に360°自動回転させることが可能です。...
メーカー・取り扱い企業: ツクモ工学株式会社 本社工場
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レーザービームをレンズ、フィルタ等で光量調整し、光検出器で光量を測定す…
レーザービームをレンズ、フィルタ等で光量調整し、光検出器で光量を測定するシステム。レンズの種類、位置調整が可能。また検出器側も細かい位置調整が可能です。...レーザービームをレンズ、フィルタ等で光量調整し、光検出器で光量を測定するシステム。レンズの種類、位置調整が可能。また検出器側も細かい位置調整が可能です。 レンズはφ25、25.4、30の3サイズ対応可能で、XYZの3軸に加え、βθのあおり角...
メーカー・取り扱い企業: ツクモ工学株式会社 本社工場
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真空機器内の観察対象物を見るために、ズームレンズの細かい姿勢・位置決め…
真空機器内の観察対象物を見るために、ズームレンズの細かい姿勢・位置決め調整するための手動5軸ステージです。 XYZ軸の他、傾斜角度とズームレンズの遠近調整が可能です。...基本仕様 各軸仕様 X:12.5mm(クロスローラ) Y:12.5mm(クロスローラ) Z:5mm(クロスローラ) 角度:±15°(アリ溝) 遠近:±15mm(ラック&ピニオン)...
メーカー・取り扱い企業: ツクモ工学株式会社 本社工場
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手のひらに収まるほど小型の3軸ステージです。
1軸26.4×11.2×5.1mmの小型ステージを組み合わせ、3軸にすることで小さい部品の位置決めやサンプル計測に使用することができます。...1軸ステージ仕様 外寸:L26.4×W11.2×H5.1 移動量:3.2/5.6mm ねじピッチ:0.32mm 自重:2.5-3g...
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