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190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ
2インチのウエハサイズに対応する、全自動式露光装置です。 従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり、自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで、毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました。 特に、新開発のアライメント画像処理には、任意座標指定のサーチおよび、インテリジェントθサーチとの複合サーチを行うオートアライメントを採用しました。また、安定した視...
メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社
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