• 【製薬業界向け】AXOM社製AIロボット外観検査 製品画像

    【製薬業界向け】AXOM社製AIロボット外観検査

    PRロボットアームで全方位検査可能。シンプルかつフレキシブルな外観検査装置…

    『AIロボット外観検査』は、ロボットアームを使用してボトルを持ち上げ、 回転させることで、カメラが全方位から、人間の目以上の精細検査を行う 異常検出のための実証済みソリューションです。 撮影された画像は、事前に欠陥認識のために訓練された、機械学習アルゴリズム (AI)によって解析。機械学習の活用により、従来のボルテックスミキサーで製品を回転させる方法が不要となります。 これまでの製品搬...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エステックエンジニアリング

  • 【分析事例】XPSによる単結晶Si表面のダメージ評価 製品画像

    【分析事例】XPSによる単結晶Si表面のダメージ評価

    高分解能測定と波形解析を利用してc-Siとa-Siの状態別定量が可能

    性元素のイオンを照射することで構造の損傷が生じ、アモルファス層が形成されることが 知られています。 高分解能なXPSスペクトルではc(単結晶)-Siとa(アモルファス)-Siが異なったピーク形状で検出されること を利用して、この損傷由来のa-Siをc-Siと分離して定量評価した事例をご紹介します。...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】TDSによるレジスト膜の脱ガス評価 製品画像

    【分析事例】TDSによるレジスト膜の脱ガス評価

    TDSにより有機膜からの脱ガス成分評価、温度依存性評価が可能です

    有機物の多量の脱離を嫌いますが、試料量を調整することによりTDSで評価が可能です。 レジスト膜についてTDS分析を実施した例を以下に示します。有機物、水、H2S、SO2などレジスト膜起因の脱ガスが検出されました。また成分により、脱離の温度が異なることが分かりました。...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】Siウエハの保管状態による表面汚染評価 製品画像

    【分析事例】Siウエハの保管状態による表面汚染評価

    フッ酸処理で酸化膜を除去したSiウエハの汚染・酸化の評価

    試料搬送時の汚染及び酸化の影響についての知見は、検出深さがnmオーダーの表面分析において重要です。そこで、保管方法の違いによる汚染・酸化の影響をSiウエハにおいて検討致しました。 薬包紙・アルミホイル保管では、一般的に見られる二次汚染による有機物の...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】眼球に投与した薬剤成分の分布評価 製品画像

    【分析事例】眼球に投与した薬剤成分の分布評価

    眼球の加工と薬剤成分の可視化(イメージング)が可能です

    ているかを知ることは、薬剤開発のうえで重要な情報となります。 本事例では魚類の眼球硝子体内に薬剤を直接投与し、眼球断面で薬剤成分の分布を評価しました。 結果、薬剤を投与した付近から薬剤成分が強く検出され、眼内に分布している様子が得られました。 質量顕微鏡であるTOF-SIMSを用いることにより、眼球をはじめとした様々な生体器官の薬物動態への応用が可能です。...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】食品中有害成分の濃度分析 製品画像

    【分析事例】食品中有害成分の濃度分析

    乳幼児用粉ミルク中メラミンの濃度評価

    2007年ペットフード大量リコール騒動、2008年メラミン混入粉ミルク事件をきっかけに、乳製品、家畜飼料等食品からメラミンが検出され、国を挙げて対策が検討されています。 MSTでは食品中のメラミンを高い精度で抽出・回収し、LC/MS/MS分析法により定量する手法を確立しています。 下にLC/MS/MS分析結果を示します。食...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】走査イオン顕微鏡によるCu表面の結晶粒観察 製品画像

    【分析事例】走査イオン顕微鏡によるCu表面の結晶粒観察

    金属多結晶の結晶粒の大きさや分布に関する知見を得ることが可能です

    走査イオン顕微鏡(Scanning Ion Microscope:SIM)は固体試料にイオンビームを照射し、発生する二次電子を検出する手法です。二次電子は各結晶粒の結晶方位に応じたコントラストを生じるため、SIMによってCuやAlなどの金属多結晶の結晶粒の大きさや分布に関する知見を簡便に得ることが可能です。本資料では測定例とし...

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  • 【分析事例】水中のカビ臭原因物質の分析 製品画像

    【分析事例】水中のカビ臭原因物質の分析

    水中の極微量カビ臭原因物質の分析が可能

    る水道の異臭味障害原因物質とされ、カビ臭原因物質として知られています。本事例では、水中に含まれるジェオスミン及び2-MIBを測定した結果を紹介します。 GC/MSを用いてppt(ng/L)レベルの検出が可能です。...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】SIMSによる化合物半導体の組成分析 製品画像

    【分析事例】SIMSによる化合物半導体の組成分析

    化合物半導体の主成分元素の組成を深さ方向に評価可能

    一般的にSIMSでは含有量が%を超える主成分レベルの元素の定量性は低いとされていますが、一次イオンにCs+を用いたMCs+(M:着目元素)検出モードを用いることで、主成分元素の深さ方向の組成分布を求めることが可能です。 AlGaAs中のAl,Gaについて、深さ方向の組成評価を行った例を示します。...

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  • 【分析事例】300mmウエハ最表面の異物の評価 製品画像

    【分析事例】300mmウエハ最表面の異物の評価

    異物検査装置との座標リンケージ機能で特定異物の評価が可能

    異物検査装置で確認された異物の成分をクリーンルーム設置のTOF-SIMSで特定することが可能です。 CMP洗浄後の異物を評価し、着目の異物から、Cuと炭化水素成分を検出しました。異物周辺には、広範囲で同じ成分が分布していました。このことから、この異物はパーティクルというよりはむしろ、ウォーターマーク状の洗浄残渣であると推定されます。...

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  • 【分析事例】液体中の陰イオン濃度分析 製品画像

    【分析事例】液体中の陰イオン濃度分析

    IC:イオンクロマトグラフィー

    イオンクロマトグラフ法は液体試料中のイオン成分を検出する手法です。 また、固体(部材)表目に付着しているこれらの成分は、純水に浸して抽出することで測定します。 MSTでは液体試料に含まれるイオンや有機酸の定性・定量分析、部材表面から溶出するイオン...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • [RBS]ラザフォード後方散乱分析法 製品画像

    [RBS]ラザフォード後方散乱分析法

    固体試料にイオンビームを照射し、ラザフォード散乱によって後方に散乱され…

    を測定することで、サンプル中の水素濃度を評価することも可能です。この測定手法が水素前方散乱分析HFS(Hydrogen Forward-Scattering Spectroscopy)です。反跳粒子検出法(ERDA:Elastic Recoil Detection Analysis)とも呼びます。 ・BからUまでの元素の分析が可能(HFSによりHも可) ・標準試料を用いることなく定量分析が...

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  • [SXES]軟X線発光分光法 製品画像

    [SXES]軟X線発光分光法

    SXESは、物質から発光される軟X線を用いて化学結合状態を評価する手法…

    ・X線吸収スペクトル(XAS)との同時測定によってバンド構造の評価も可能 ・バルクの情報が得られるため、表面近傍数nmの影響を受けにくい ・絶縁物に対しても帯電の影響を受けずに評価が可能 ・検出下限が低く(<1atomic%)、微量成分であっても評価が可能...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】揮発性有機化合物(VOC)P&Tによる微量成分の検出 製品画像

    【分析事例】揮発性有機化合物(VOC)P&Tによる微量成分の検出

    GC/MS:ガスクロマトグラフィー質量分析法

    水基準値が定められ、低濃度まで測定可能な手法が必要とされています。本事例では、P&T(パージ&トラップ)で濃縮した成分をGC/MSに導入することによって、水中の微量なVOC成分(サブppbレベル)を検出する事例を示します。...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】杜仲茶に含まれるポリフェノールの一斉分析 製品画像

    【分析事例】杜仲茶に含まれるポリフェノールの一斉分析

    健康食品中有効成分の検出事例

    した食品であり、特定保健用食品(トクホ)に指定されています。本事例では、杜仲茶をLC/MS/MSで分析し、ゲニポシド酸、クロロゲン酸、アスペルロシド、p-クマル酸、ケルセチンの5つのポリフェノールを検出することができました。これらの成分の中で、杜仲葉配糖体の一つであるゲニポシド酸は特定保健用食品の有効成分としてのメルクマールとなっています。...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】ウォーターマーク原因調査 製品画像

    【分析事例】ウォーターマーク原因調査

    TOF-SIMSを用いた最表面の汚染源の特定

    TOF-SIMSでは分子に由来する二次イオンを検出し、その分布を可視化します。異常箇所から検出されたイオン種から由来成分を推定することで、異常がどのプロセスで発生したかを調査することができます。 ウェハや製品上に異常箇所(変色・付着)が見つかった...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

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