システム【流量制御機器】FCS Pressure Series

超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。

圧力を制御することにより、従来のマスフローコントローラーでは実現できない 高精度な流量制御を可能にした、フローコントロールシステム 【特徴】 ○シンプルでデットスペースレスな構造 ○優れた圧力変動特性 　上流の圧力が変動しても出力値が変動しないため 　上流側に取り付ける事が可能。またレギュレータをガスシステムから省く事ができ 　ガスシステムのコストダウンと小型化を同時に達成...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

システム【流量制御機器】FCS Thermal Series

熱式流量センサ制御方式を採用した、流量制御機器です。

更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー 【特徴】 ○高精度 　流量精度±1％を実現 ○高性能センサ 　低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び 　安定性の低いガスに最適構造を実現 ○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止 　高速応答ピエゾアクチュエータを採用 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社