ウエーハ外観検査装置 Wafer Inspection

貴社検査工程の標準化・自動化にお役立て下さい！

Siウエーハだけでなく、従来難しかったサファイア等の透明基板に発生する微小欠陥（異物・キズ等）を検出できます。 従来肉眼でバラツキが多かった検査工程を自動化・標準化できます。 ...（外観検査対象　具体例） 　シリコン・化合物ウエーハ、サファイア・石英ガラス等の各種基板 （検査項目　具体例） □　マイクロクラック（表裏面・エッジ） □　チッピング、スクラッチ、ピット等の傷 □...

メーカー・取り扱い企業： 大日商事株式会社