高温の排水、そのまま排水にしていませんか？『排熱回収装置』

PR高温の排水を捨てる前に当製品に通すだけ！排水の熱を供給水に移して利用〈…

『排熱回収装置』は、排水が保有する熱量を給水加熱に利用することで、 給水加熱に要する燃料消費削減を目的とした装置です。 排水を伝熱パイプに滴下させるだけで良いため、ポンプ等の動力機器や 安全機器搭載の必要がありません。伝熱パイプに異物の付着しにくい 防汚処理を施しているため、伝熱性能が低下しにくいです。 また、本体の分解、組み立てもとても簡単な構造になっており丸ごと取り外しが可能なため、 伝熱...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ショウワ 本社、東京営業所、名古屋営業所、北陸営業所

燃焼式排ガス処理装置

燃焼式排ガス処理装置です

本装置は半導体製造装置により排出されるSiH4等の水素化合物、C2F6、SF6等の フッ素化合物等の排ガスを燃焼バーナーの熱排ガスを利用して熱分解させることにより 処理します。また、熱分解後の生成物（SiO2粉、酸性ガス等）は同パッケージ内の ウェットスクラバーにて後処理します。 【特長】 ・燃焼ノズルと二次燃焼室を分離することにより、流量変動時に安定燃焼が可能です。 ・最大処理流...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社