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全ての薬液、高純度のアプリケーションの流体制御に最適な設計です
す。 また、今まで流量のモニター、制御が難しかった発泡性薬液、 CMP用スラリーなどの薬液の制御に特化したコリオリ式のフローコントローラー も取り揃えております。 【特長】 ■超音波流量計では出せない発泡性薬液やスラリーの高精度制御 ■流体の粘度の変化に影響されず、高精度で流量モニターや制御が可能 ■被計測流体の特性による調整、設定が不要 ■30%以内の気体含有液を制御可能 ...
メーカー・取り扱い企業: ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫
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