クリーンルーム用 旋回流誘引型成層空調システム ＴＣＲ-ＳＷＩＴ

省エネ・省CO2・省コストを実現し　高精度環境を構築します。

ス状汚染物質)を高精度かつ安定的に制御することが必要です。 TCR-SWITは、冷気は下降し暖気は上昇する原理を利用した旋回流誘引型の成層空調システムSWITの技術を、クリーンルームの製造環境（温度管理・清浄度管理）へ応用した空調システムです。 特許第5361140号、特許第6636859号、特許第6878552号、特許第6909850号、特開2020-056570号、特開2020-1...

メーカー・取り扱い企業： 高砂熱学工業株式会社

ドライルーム技術

ドライルームを適正な機器構成と好適運転制御で省エネルギー・省コストで実…

急増するリチウムイオンニ次電池や有機EL製造プロセスでは、空気中の水分が 阻害要因になるため、空気中の水分を除去した低露点雰囲気に管理された ドライルームにて製造が行われています。 「WINDS」は、露点温度-60℃のドライエアを供給する独自の省エネルギー型 除湿機です。これを用いて業界トップクラスの省エネルギーを実現した 低露点のドライルームを提供。 また、電子デバイス製造装...

メーカー・取り扱い企業： 高砂熱学工業株式会社

半導体製造用クリーンルーム

高精度環境を省エネルギー・省コストと両立させ超短工期で構築します！

「半導体製造用クリーンルーム」は、超微細精密加工を高い歩留で 実現するために、温度・湿度・清浄度(ガス状汚染質除去)・気流・ 微振動を高精度かつ安定的に制御することが必要です。 豊富な施工実績に基づき、設備システム・容量の最適化、製造ライン・ 生産付帯設備に踏み込んだ提案、脱ガス配慮設計技術、垂直立上げを実現する 施工管理手法などを駆使し、超短工期で高品質なクリーンルームを構築。 ...

メーカー・取り扱い企業： 高砂熱学工業株式会社