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低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅低減!一般的な四重…
『WATMASS』は、10-7~10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるように イオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計(質量分析計)です。 熱陰極イオン源および、センサーニップル菅(ICF70)を低輻射/高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、 低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。 また、グリッドを白金イリジウム(Pt-Ir)合金で...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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『WATMASS』は、10-7~10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるようにイオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計です。 熱陰極イオン源および、センサーニップル菅(ICF70)を低輻射/高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、 低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。 また、グリッドを白金イリジウム(Pt-Ir)合金で製作することで、E...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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