コスラーズゲートバルブ

開口幅400mm～2000mm！第六世代、第七世代基板に対応したゲート…

FPD製造装置におけるガラス基板の大型化に対し、IKCは半導体製造装置、 真空機器などで培った技術と独自の技術開発により、これに応える 大型のゲートバルブを開発しました。 FPD製造装置向けとして各世代の基板サイズに対応したバルブをシリーズ化 しましたので紹介致します。 【ラインアップ...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

ゲートバルブ『コンパクトコスラーズII』

小型化、軽量化を追及！IKCの新技術を導入したゲートバルブのご紹介

『コンパクトコスラーズII』は、次世代のLSI及びLCDの製造装置にも 使用可能な高品質の角型ゲートバルブです。 IKC独自の技術により、無摺動で装置内を高度なハイクリーン状態に保ち、 シール保持時間が長く、逆圧シールに対し安定したシール性能を発揮します。 また、お客様からのご要求を反映し、イージーメンテナンスを...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

成形べローズ

応力のバラツキを防止が可能で、量産製作での品質の均一化が図れます！

は、溶接べローズに比べて歴史的に古くいろいろな 製造方法が考案されていますが、一般的に広く採用されているのは、 機械的に成形するロール成形法と、液圧によるバルジ成形法があります。 当社は、独自の液圧成形法により製作。 応力のバラツキを防止が可能で、量産製作での品質の均一化が図れます。 【特長】 ■ロール成形法に比べて精度の高いものが得られる ■応力のバラツキを防止出来る ■...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社