多孔質セラミックス式ファインバブル発生器『セラポール』

多孔質セラミックスを活用したファインバブル発生器

セラポールはノリタケの基幹技術である多孔質セラミックスを応用した微細孔方式のバブル発生器です。 細孔径の均一な管状の多孔質セラミックス膜より気体を吹き出し微細気泡を発生させます。 【特徴】 〇気体を供給するだけで容易に気泡発生 〇膜面積を増やすことでバブル発生量アップ 〇低い気体圧力でバブル発生可能（最小差圧0.15MPa） 〇せん断力がかからないため、液温上昇&変質なし 〇高粘度液にもファインバ...

メーカー・取り扱い企業： ノリタケ株式会社 エンジニアリング事業部　流体テクノ部

燃焼式排ガス処理装置

燃焼式排ガス処理装置です

本装置は半導体製造装置により排出されるSiH4等の水素化合物、C2F6、SF6等の フッ素化合物等の排ガスを燃焼バーナーの熱排ガスを利用して熱分解させることにより 処理します。また、熱分解後の生成物（SiO2粉、酸性ガス等）は同パッケージ内の ウェットスクラバーにて後処理します。 【特長】 ・燃焼ノズルと二次燃焼室を分離することにより、流量変動時に安定燃焼が可能です。 ・最大処理流...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社