日本フッソ工業　半導体製造装置

ウエット洗浄装置

高純度フッ素樹脂コーティングは、金属イオン溶出によるデバイスの汚染を防ぎます。 ...【特徴】 ○表面の汚染物質の付着が少なくなる ○パーティクルが発生しにくい ○Siウェハのエッジのダメージが減少する ○薬液透過による外部汚染を防止 ○金属槽が採用可能になることから、強度アップが可能 ○熱伝導の効率が向上 ○薬液透過による外部汚染を防止 ○金属槽が採用可能になることから、強度ア...

メーカー・取り扱い企業： 日本フッソ工業株式会社

コンタミレス軸封構造「ノンメタルPEC」

コンタミネーション対策を実現した軸封構造！

近年、特に電子材料・医薬をはじめとするファインケミカル製造プロセスにおける反応槽・撹拌槽・乾燥機などの機器は、耐食性・洗浄性・金属イオン溶出防止などの機能が要求され、そのレベルは年々厳しくなっています。 さらに、大きな問題は異物対策（コンタミネーション対策）です。 タンク類における異物対策はフッ素樹脂焼付コーティングなどを施工することでほとんど解決してきましたが、撹拌装置軸封部からの摩耗粉...

メーカー・取り扱い企業： 日本フッソ工業株式会社