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電子顕微鏡関連機器 電子線描画用パターン発生装置 SPG-724
お使いのSEMの機能を損なうことなく電子線描画が可能です。
電子線描画装置用パターン発生装置 SPG‐724は、半導体を製造するためのものではなく微細回路・微小光学部品・ナノマシンの研究開発を行うためのものです。 電子線発生と偏向は、SEMそのもので行っています。SPC‐724をSEM...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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