集束イオンビーム加工観察装置【加工事例有り】

数ミクロン以下のナノオーダーの加工技術！極低加速電圧による低ダメージ加…

【PRポイント】 ○φ1um以下の超微細穴加工が可能 ○微細な構造加工が可能 　...etc 【集束イオンビーム（FIB）加工の原理】 数十ナノメートル程度に集束したイオンビームを試料表面で走査する事で発生した2次電子を検出し 顕微鏡像の観察、試料表面の加工が可能。FIBのイオン源にはガリウムイオンを使用しており、その イオンビームを試料の表面に照射すると、 試料表面から2次電子が...

メーカー・取り扱い企業： 東レ・プレシジョン株式会社

精密加工　技術ハンドブックVol.3【※無料プレゼント中！】

エンジニア必見！金属3Dプリンター技術やナノ加工技術などが採用された導…

「精密加工 技術ハンドブックVol.3」は半導体製造装置の重要部品のひとつである アパーチャーへの加工技術や多様な溝形状を可能にするナノ加工技術、小型から 大型製品まで高精度を実現するスリットダイなどを採用いただいたお客様の声を 掲載したエンジニア必見の小冊子です。 機械加工では実現できない形状を金属３Dプリンタで製作し、造形上の課題となる 「形状精度」と「面粗度」は、長年培ってきた「精...

メーカー・取り扱い企業： 東レ・プレシジョン株式会社

ビーム加工・金属３Dプリンターを用いたマスクやコリメーターの提案

超微細スリットのマスク、高アスペクト比のコーデッドマスク、コリメーター…

◆マスクの提案 当社微細孔加工技術の最小孔径φ0.1μm加工技術を用いて、ビームを切ることなく連続照射することで直線、曲線の スリット加工から精密微細マスクを提案します。 スリットとスリットの間の肉厚も2μm程度まで隣接可能であり、当社保有設備を駆使することでスリット幅 を自由に選択出来ます。但し、ワーク厚み／スリット幅≦５の関係があります。 ◆コーデッドマスクの提案 金属３Dプリ...

メーカー・取り扱い企業： 東レ・プレシジョン株式会社