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ALICATマスフローコントローラーMCD(デュアルバルブ)
バルブ2基搭載し双方向制御が可能。加圧や負圧、真空引きでの制御が行えま…
『MCD/MCDSシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス/冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCDSシリーズ」や「MCDWシリーズ」などのラインアップをご用意し...
メーカー・取り扱い企業: 日本スターテクノ株式会社
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ALICAT マスフローコントローラーMCVシリーズ (真空用)
MCV/MCVSシリーズ(真空用シャットオフバルブ搭載)のALICAT…
『MCV/MCVSシリーズ』は、真空用シャットオフバルブ搭載のALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS)の高い流量精度 ■10SCCMから20SLPMまでラインアップ ...
メーカー・取り扱い企業: 日本スターテクノ株式会社
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